半导体及液晶制造装置

计算机和智能手机的普及率已超过70%，家电产品等的10T化也成为了现实。对于这些设备，半导体必不可少。半导体如今依然在不断进化，微细化、高集成化、省电化程度越来越高。

连接信息和人的液晶显示器同样如此，通过开发新的元件和显示方式等，向着更高的画质、更低的功耗、更薄、更轻的方向前进。因此，半导体和液晶制造装置使用的轴承及直线导轨对于高刚性、高精度、高速性、耐热性、耐腐蚀性、低尘性等性能的要求也在逐年攀升。

液晶玻璃用立体搬运粗切割线是将液晶显示器使用的玻璃基板运送至划线、切割、检查等工序的装置。通过采用循环式的搬运工作台，大幅提高了产量。为了顺利交接液晶玻璃，直线导轨需要具备高刚性和高安装精度。

玻璃基板搬运机器人是将液晶等平板显示器使用的玻璃基板运送到制造和检查工序的多关节机器人。与各关节部安装了电机的传统型机器人相比，削减了手臂重量和电机使用数量。因此，作为支点的轴承需要具备高负载容量和刚性。